Fluorescência de Raios-X (XRF)
XRF para Espessura de Revestimentos
BOWMAN
Materiais, Metais e Ligas Metálicas
A Série A da Bowman usa óptica policapilar para focalizar o feixe de raios X em 7.5 μm FWHM, o menor do mundo para análise de espessura de revestimento usando instrumentos XRF. Uma câmera de ampliação de 140X é usada para medir recursos nessa escala; é acompanhado por uma câmera secundária de baixa ampliação para amostras de visualização ao vivo e imagens de visão macro panorâmica. O sistema de câmera dupla da Bowman permite que os operadores vejam a peça inteira, cliquem na imagem para ampliar com a câmera high-mag e identifiquem o recurso a ser programado e medido.
Um estágio XY programável com movimento de 23.6 mm (600 pol.) em cada direção pode lidar com o
maiores amostras da indústria. A platina tem precisão inferior a +/- 1 μm para cada eixo e é
usado para selecionar e medir vários pontos; Software de reconhecimento de padrões Bowman e foco automático
recursos também fazem isso automaticamente. O reconhecimento de padrões integrado ao sistema pode ser usado para visualizar a topografia de um revestimento em uma peça como uma pastilha de silício.
| Faixa do elemento: | 13 de alumínio para urânio 92 |
| Excitação de raios-X: | 50 W Mo target Flex-Beam Capillary Optics @7.5 FWHM a 17 KeV Opcional: Cr ou W |
| Detector: | Detector de silício derivado de janela grande com resolução 135eV ou superior |
| Número de camadas e elementos de analise: |
5 camadas (4 camadas + base) e 10 elementos em cada camada. Análise de composição de até 25 elementos simultaneamente |
| Filtros / Colimadores: | Filtros principais 4 |
| Profundidade focal de saída: | Fixado em 0.08 ″ (2.03 mm) |
| Processamento digital de pulsos: | Analisador digital multicanal 4096 CH com tempo de modelagem flexível. Processamento automático de sinal, incluindo correção de tempo morto e correção de pico de escape |
| Computador: | Processador Intel, CORE i5 9ª geração (4.1 GHz), 16 GB de RAM, Microsoft Windows 10 Prof, 64 bits |
| Ótica da câmera: | Resolução VGA de 1/4″ CMOS-1280×720 |
| Ampliação de vídeo: | 140X Micro e Zoom Digital 7X: Macro 9X e Visualização de Mesa |
| Fonte de energia: | 720W, 100 ~ 240 volts; faixa de freqüência 47Hz a 63Hz |
| Peso: | 1000kg (lbs 2200) |
| Ambiente de trabalho: | 68 ° F (20 ° C) a 77 ° F (25 ° C) e até 98% RH, sem condensação |
| XYZ programável: | Percurso XYZ: 600mm (23.6 ″) x 600mm (23.6 ″) x 100mm (3.9 ″) Mesa XY: 560 mm (22 ″) x 585 mm (23 ″) Precisão dos eixos X e Y: 1um (40u”) Precisão do eixo Z: 1um (40u”) |
| Dimensões internas: | Largura: 1400mm (55″), Profundidade: 1470mm (58″), Altura: 100mm (4″) |
| Dimensões externas: | Largura: 1470mm (58″), Profundidade: 1575mm (62″), Altura: 1780mm (70″) |
| Outros novos recursos: | Matriz de proteção Z, foco automático, laser de foco, reconhecimento de padrões, compatível com Semi S2 S8 |
Os equipamentos XRF têm inúmeras aplicações para análise de espessura de revestimento para: